東北学院ハイテクリサーチセンター

走査型プローブ顕微鏡　原子間力顕微鏡

　原子間力顕微鏡（AFM：Atomic Force Microscope）は、探針先端と試料表面との間に働く原子間力をカンチレバーと呼ばれる板ばねの変位から測定し、探針を試料表面に沿って走査することで表面形状を観察する装置である。一般に、近接する二つの物体間には必ず原子間力が作用するため、AFMには測定試料に対する制約が原理上存在しない。このため走査型トンネル顕微鏡（STM）では測定が困難な絶縁体の表面形状、液中試料の観察などが可能である。探針と試料を接触させて観察するコンタクトモードや非接触で観察するノンコンタクトモードに分けられる。より様々な物性測定が可能である。

コンタクトモードは走査型プローブ顕微鏡（SPM: Scanning Probe Microscope）の基本になる測定モードで、カンチレバーの種類や信号検出方法を変えることにより様々な物性測定が可能である。