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シーズ集

原 明人
研究者 原 明人
工学部
電気電子工学科
教授
研究テーマ 1 半導体デバイスの開発

内容

1. 多結晶シリコン薄膜トランジスタの高機能化

2. 多結晶ゲルマニウム薄膜トランジスタの開発

3. 半導体バイオセンサの開発

4. 太陽電池グレートシリコンの結晶工学

5. デバイスシミュレーション

6. 半導体局所ナノ構造の物性と制御


保有設備

   プラズマCVD、反応性イオンエッチング装置、スパッタ装置、真空蒸着装置、電子ビーム蒸着装置、CMP、純水製造装置、マスクアライナ、スピナー、レ―ザプロセス装置(自作)、ドラフト、ガス除害装置、走査型電子顕微鏡、光学顕微鏡、熱処理炉、UV洗浄装置、段差計、硬度計、ワイヤーボンダ―、スライサー、プロ―バ、各種デバイス計測器、デバイスシミュレータ(SILVACO)、マスク作成システム、DLTS、その他多数

研究成果の応用例、活用分野

1. 立体ゲート構造多結晶シリコン薄膜トランジスタ

2. 立体ゲート構造多結晶ゲルマニウム薄膜トランジスタ

3. システムオンガラスに向けた異種シリコン薄膜トランジスタの

モノリシック集積化 

4. 高誘電率ゲートトランジスタ

5. 多結晶シリコン太陽電池

6. 半導体バイオセンサ

7.半導体格子欠陥の物理

研究室HP

http://www.tohoku-gakuin.ac.jp/faculty/engineering/elec/staff/hara.html


固体デバイス実験室の装置(一部) 固体デバイス実験室の装置(一部)
上下に金属ゲートを有する埋め込み型4端子自己整合メタルダブルゲート低温多結晶シリコン薄膜トランジスタ 上下に金属ゲートを有する埋め込み型4端子自己整合メタルダブルゲート低温多結晶シリコン薄膜トランジスタ