- 研究者 原 明人
- 工学部
- 電気電子工学科
- 教授
研究テーマ | 1 半導体デバイスの開発 |
内容
1. 多結晶シリコン薄膜トランジスタの高機能化
2. 多結晶ゲルマニウム薄膜トランジスタの開発
3. 半導体バイオセンサの開発
4. 太陽電池グレートシリコンの結晶工学
5. デバイスシミュレーション
6. 半導体局所ナノ構造の物性と制御
保有設備
プラズマCVD、反応性イオンエッチング装置、スパッタ装置、真空蒸着装置、電子ビーム蒸着装置、CMP、純水製造装置、マスクアライナ、スピナー、レ―ザプロセス装置(自作)、ドラフト、ガス除害装置、走査型電子顕微鏡、光学顕微鏡、熱処理炉、UV洗浄装置、段差計、硬度計、ワイヤーボンダ―、スライサー、プロ―バ、各種デバイス計測器、デバイスシミュレータ(SILVACO)、マスク作成システム、DLTS、その他多数
研究成果の応用例、活用分野
1. 立体ゲート構造多結晶シリコン薄膜トランジスタ
2. 立体ゲート構造多結晶ゲルマニウム薄膜トランジスタ
3. システムオンガラスに向けた異種シリコン薄膜トランジスタの
モノリシック集積化
4. 高誘電率ゲートトランジスタ
5. 多結晶シリコン太陽電池
6. 半導体バイオセンサ
7.半導体格子欠陥の物理
研究室HP
http://www.tohoku-gakuin.ac.jp/faculty/engineering/elec/staff/hara.html
固体デバイス実験室の装置(一部)
上下に金属ゲートを有する埋め込み型4端子自己整合メタルダブルゲート低温多結晶シリコン薄膜トランジスタ
- 工学部電子工学科原明人教授紹介ページ
https://www.tohoku-gakuin.ac.jp/faculty/engineering/elec/staff/hara.html - シーズ集掲載内容