設備紹介

ナノインデンテーションシステム

 ナノインデンテーションシステムユニット(微小押し込み試験機)は、薄膜試料および微小領域の弾性特性等の力学特性を評価するものであり、極低荷重の押し込み試験を高精度で行え、しかも硬さ、ヤング率といった材料特性を一度の押し込み試験により、連続的に深さ方向の関数として求めることが可能である。本装置は薄膜および微小領域の硬さ・ヤング率測定評価において以下に挙げる特徴を有する。まず、試料観察にCCDカメラを採用することで、パソコンモニター上で測定ポイントを観察しながら位置決めが可能であり、ステージ系はステッピングモーター駆動の超高精度ステージにより、複数の測定ポイントをフルオートで測定可能である。


以上の特徴を利用して、金属、セラミックス、高分子材料などの極薄膜や極微小領域における硬さ、ヤング率の測定が可能である。

形式

ENT-1100a-T((株)エリオニクス社製)

仕様および性能

  1. 荷重範囲:98μN~980mN
  2. 圧痕位置精度:0.3μm以内
  3. 変位分解能:0.3 nm
  4. 計測方式:静電容量式(電場の影響を受けない)
  5. ステージの材質:低熱膨張材
  6. 測定データの再現性:除振ユニット、温度管理装置を装備
  7. ステージ制御:コンピュータ制御(X、Y、Z軸3軸モーター駆動)